持續推動集成電路產業的技術創新與工藝突破
做核心零部件解決方案的領跑者
深圳市恒運昌真空技術股份有限公司是國內領先的大規模集成電路晶圓前道薄膜沉積、等離子體刻蝕、光刻、去膠、離子注入及鍵合等設備的核心零部件供應商，主要從事等離子體射頻電源系統、等離子體激發裝置、等離子體直流電源、氣體流體精密控制，真空獲得與計量零部組件的設計、研發、生產、銷售及技術服務。 公司是國內技術領先、實現大批量產品交付的等離子體射頻電源系統企業，產品批量交付國內龍頭裝備廠商拓荊科技、中微公司、北方華創、微導納米、盛美上海等，并配套中芯國際等國內頭部晶圓廠。
履行社會責任，做受人尊敬的企業！
履行社會責任，做受人尊敬的企業
第四屆中國電力電子與能量轉換大會暨展覽會、中國電源學會第二十八屆學術年會(CPEEC&CPSSC 2025)將于2025年11月7-10日在深圳國際會展中心18&20號館舉辦。作為中國電力電子
上海世博展覽館 (上海市浦東新區國展路1099號) 深圳市恒運昌真空技術股份有限公司誠邀您參加IVE2025 恒運昌簡介 深圳市恒運昌真空技術股份有限公司是國內領先的半導體設
恒運昌誠邀您相聚2025灣芯展 “芯啟未來,智創生態” 展會邀請 尊敬的業界同仁: 誠邀您蒞臨2025灣區半導體產業生態博覽會(深圳)——灣芯展 本屆展會,恒運昌將攜帶半導體領域應用的CEDAR射頻電源
